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        薄膜沉积技术
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        真空镀膜机怎么操作?

        2020-09-04 01:25:00

        一、电控柜的操作

        1、开水泵、气源

        2、开总电源 

        3、开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。

        4、开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。

        5、观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。

        二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 1、总电源 2、同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。 3、开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。

        三、关机顺序 1、关高真空表头、关分子泵。 2、待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。 3、到50以下时,再关维持泵。

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