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        薄膜沉积技术
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        离子源基本结构

        2020-09-18 09:02:39

        基本结构  

        本离子源采用紧凑模块化设计,可以在改变可靠性和基础特性参数的情况下与现有设备进行有效匹配,极大限度地改善镀膜效果和提高功效。  

        本离子源包括以下主要部分:  表面外阴极、表面内阴极、磁铁、磁路(离子源壳体)、阳极、布气机构、驱动电源等。五、安装及操作  安装及操作  

        1.1开箱验货  打开包装,按装箱单检查货品是否齐全;  

        1.2机械安装  用户可根据具体需要制造响应的支架,利用离子源表面四个角上的预留M6螺纹孔,将离子源安装在所需位置。此工作也可委托本公司代为设计加工。  

        1.3真空检漏  离子源在发货前均进行了真空检漏,离子源在镀膜机或其他系统上安装完毕后还应该进行真空检漏,以确保接口法兰与系统良好密封。最简单的方法是将离子源的进气管封闭,进行真空试抽。观察系统的本地真空度,如无明显降低表示离子源机械安装正确。如发现明显降低可以用真空检漏仪检漏或与本公司联系。  

        1.4气体连接  将质量流量计(或其他气体流量控制设备)的输出端与离子源的气体输入端相连接即可。离子源的气体接入管为黄色气管。在离子源安装完毕后,应首先关闭气源观察供气管道,进行真空试抽以确认整个供气管道密封良好。  

        1.5电源安装  按照离子源电源原理图,将驱动电源的正极与离子源的阳极相接,驱动电源的负极与离子源的外壳相接(即真空室的外壳),负极应与地线相接。由于离子源的驱动电压较高(1500V),使用的链接导线及接线端子的结构必须保证其耐压超过5000V,同时保证较大的绝缘间隙,防止潮湿环境下出现爬电飞弧。  

        1.6冷却水连接  离子源的冷却水管共四根,蓝色两根和橙色两根,其分别为阳极和阴极的冷却水进出口。其中蓝色两根管子一组,冷却水一进一出,橙色两根管子为一组,冷却水一进一出。进出水不需要区分方向,即用户自定义相同颜色的任意一根水管为进水,另一根为出水。背板冷却水,根据实际要求

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