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        电子枪使用方法及注意事项

        2020-09-19 09:58:45

        1.供安装的组件  ①.高压绝缘子组件2件  ②.水管接头1件  ③.X、Y偏转供电端子组件1件  ④.坩埚主轴组件1件  以上组件在真空室底板(厚22mm)上的安装孔为Ф33.5mm。  2.安装中的主要尺寸  ①.坩埚主轴组件  

        2.导磁组件  

        3.电子枪打火及减少打火次数的措施  电子枪在蒸镀时,由于电子束中的电子与气体分子和蒸发材料的蒸汽发生碰撞产生的离子轰击带负电高压电极及其引线,即产生打火。另外,若这些带负高压电的部分有尘粒等杂物,会使该处电场集中也容易打火。故电子束蒸镀设备的高压电源都附有高压复位装置,在打火时自动切断高压,然后又自动恢复,切断与恢复的时间愈短,愈不会影响蒸镀工艺。  此外,为了减少打火次数,在安装和使用中应注意以下几点:  

        4.束斑与功率  束斑的大小与阴极位于栅极孔中的位置密切相关H小则束流亦小,h大则束斑大束流亦大。  调整时应兼顾束流(不宜过大)、功率和蒸发速率,一般追求高的功率密度而又不使膜料飞溅,再配以动态扫描使膜料不致产生凹坑最为理想。此外,每次应将膜料加满坩埚,以利于提高蒸发速率。但膜料不可高出坩埚的上平面,以免有碍转动。  

        5.工艺方法:用户可根据不同的材料,选用以下两种工艺方法.  

        6.操作及注意事项  ①.电子枪工作前必须检查水流是否正常.工作过程中务必保证水压、水流量指示,否则将造成坩埚损坏。  ②.电子枪起动真空度6.710-3Pa。  ③.蒸发前电子枪的阴极灯丝应预热,预热电流为0.6A,预热时间新阴极5分钟以上(应缓慢调至0.6A,以防阴极变形),旧阴极2分钟即可。  ④.蒸发前对材料先预热除气。  ⑤.蒸发完后,按下列顺序关闭高压电源:关蒸发档板→关闭高压→灯丝电源调至预热0.6A的位置→关闭束流调节电源并调至最*低位置→关闭磁场电源。工作时操作顺序与此顺序相反。  ⑥.电子枪灯丝停止加热后,要停留10分钟以上才能向蒸发室放气。

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