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        电子枪结构说明

        2020-09-21 10:42:40

        1.电子枪  电子枪是产生电子束的部件,由直线状螺旋钨阴极、栅极和阳极组成。加速电压采用负高压,阴极和栅极处于相同的负电位,阳极接地电位。阴极由交流供电加热,使之发射电子,电子受栅极电位的影响,在阳极电压加速下形成会聚的电子束。在X方向磁场(左为S极、右为N极)的作用下,电子束得到进一步聚焦并偏转270?射入装有被镀膜料的坩埚中,其动能变成热能使材料蒸发沉积于基片上,达到所需膜层的要求。  

        2.X、Y偏转和扫描  X、Y偏转线圈采用铝金结构。  改变X线圈电流大小,电子束可作前后移动;改变Y线圈电流大小,电子束可作左右移动。通过调整X、Y线圈电流大小,可使束斑射于膜料的所需位置上。通常使Y线圈偏转电流为零,调整X线圈电流,使束斑居于坩埚中心位置。  若再给X、Y线圈加上交变电流,则电子束可在膜料上作不同幅度(圆或其它形状)和频率的自动扫描。  

        3.冷却水  正常的冷却水是保证不损坏坩埚及密封胶圈等部件的关键,欲达到技术指标中的供水要求,请用户给电子束蒸发源单独供水,而不要由主机的供水管供水(参见图1);并在工作中随时监视水流情况。未达到供水要求,严禁使电子枪工作。  

        4.坩埚的定位  坩埚由电机直接驱动,电机加电则转动,失电则停止。用户可选用手动点控或电控自动任一方式定位。  

        手动点控是电机的加电、失电由手动控制,这种方式可使坩埚孔停在您需要的位置处,比较随意。  

        电控自动系借转动轴上的碰块与四个分度90?的微动开关相互作用使坩埚停在规定的位置处。出厂前碰块与微动开关相对位置已调好,不许乱动。若出现坩埚孔穴与铜遮板孔错位时,可按照以下方法调整:  

        a.坩埚孔偏离遮板孔左侧(如图2)。发生这种情况是因为转轴上的碰块偏右而提前将微动开关接通所致,可将转轴上三个螺钉松开,将碰块微微向左转一点,再拧紧三个螺钉后通电试之,直至二孔对中为止。  

        b.坩埚孔偏离遮板孔右侧(如图3)。这种情况与a情况相反,可按与a相反方法处理即可。  

        c.四孔中仅一个孔不对中时,可仅调整与之对应的微动开关的进出量即可,即把固定微动开关的二个螺钉松开,将开关向内或向外调一点后,再拧紧螺钉即可。

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