1.电子枪　　电子枪是产生电子束的部件,由直线状螺旋钨阴极、栅极和阳极组成。加速电压采用负高压，阴极和栅极处于相同的负电位，阳极接地电位。阴极由交流供电加热，使之发射电子，电子受栅极电位的影响，在阳极电压加速下形成会聚的电子束。在X方向磁场(左为S极、右为N极)的作用下，电子束得到进一步聚焦并偏转270?射入装有被镀膜料的坩埚中，其动能变成热能使材料蒸发沉积于基片上，达到所需膜层的要求。　　

2.X、Y偏转和扫描　　X、Y偏转线圈采用铝金结构。　　改变X线圈电流大小，电子束可作前后移动;改变Y线圈电流大小，电子束可作左右移动。通过调整X、Y线圈电流大小，可使束斑射于膜料的所需位置上。通常使Y线圈偏转电流为零，调整X线圈电流，使束斑居于坩埚中心位置。　　若再给X、Y线圈加上交变电流，则电子束可在膜料上作不同幅度(圆或其它形状)和频率的自动扫描。　　

3.冷却水　　正常的冷却水是保证不损坏坩埚及密封胶圈等部件的关键，欲达到技术指标中的供水要求，请用户给电子束蒸发源单独供水，而不要由主机的供水管供水(参见图1);并在工作中随时监视水流情况。未达到供水要求，严禁使电子枪工作。　　

4.坩埚的定位　　坩埚由电机直接驱动，电机加电则转动，失电则停止。用户可选用手动点控或电控自动任一方式定位。　　

手动点控是电机的加电、失电由手动控制，这种方式可使坩埚孔停在您需要的位置处，比较随意。　　

电控自动系借转动轴上的碰块与四个分度90?的微动开关相互作用使坩埚停在规定的位置处。出厂前碰块与微动开关相对位置已调好，不许乱动。若出现坩埚孔穴与铜遮板孔错位时，可按照以下方法调整：　　

a.坩埚孔偏离遮板孔左侧(如图2)。发生这种情况是因为转轴上的碰块偏右而提前将微动开关接通所致，可将转轴上三个螺钉松开，将碰块微微向左转一点，再拧紧三个螺钉后通电试之，直至二孔对中为止。　　

b.坩埚孔偏离遮板孔右侧(如图3)。这种情况与a情况相反，可按与a相反方法处理即可。　　

c.四孔中仅一个孔不对中时，可仅调整与之对应的微动开关的进出量即可，即把固定微动开关的二个螺钉松开，将开关向内或向外调一点后,再拧紧螺钉即可。