无栅宽束离子源　　

1,霍尔源(END-HALLionSource)　　

霍尔源有多种类型.END-HALL源由于结构简单,是目前广泛应用的一种.但究其源,是来源于俄罗斯开发用于空间电推进-(ElectricPropulsion)离子源SPT的改型.最初原型见照片.现型END-HALL源其特点是结构简单,低能宽束大束流,　　2,APS(AdvancedPlasmaSource)离子源　　

APS源同样具有低能宽束大束流的特点.其名义束流可达数安培,但限于与END-HALL源相类似的加速机理,其能量限于120eV左右.仅与德国莱宝机配套,未见单独使用.　　

考夫曼离子源　　

考夫曼离子源是美国H.R.Kaufman教授在美国MASA工作期间为用于的宇航的电推进研发的离子发动机,后在70年代末将其推广于地面应用.考夫曼源的特点是具有较高的离子能量,在地面应用中,通常能量≦2000eV,其离子束流≦1A.在80年代中期,中科院空问中心与美国科罗拉多卅立大学通过美国NSF(国家自然科学基金会)合作分别研发出用于大面积离子注入的高能宽束离子源,其最-高能量100Kev(中方),80Kev(美方)(合作者:中科院空间中心冯毓材教授,美国科罗拉多卅立大学P.J.Wilbur教授)　　

考夫曼离子源具有多种用途,除目前广泛应用于光学镀膜及工业加工领域外,还可用于从低能至高能离子注入.如提高太阳能电池光电效率等.