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        CRT-OPT1600磁控溅射光学镀膜机

        CRT-OPT1600磁控溅射光学镀膜机

        • 所属分类:单体镀膜机
        • 浏览次数:
        • 发布日期:2020-04-24 16:15:40
        • 产品概述
        • 性能特点
        • 技术参数

        CRT-M1600多功能溅射蒸发镀膜机

        产品规格:

        1.真空室:Φ1600*H1100mm,Φ1200*H1000mm

        2.最 大可镀工件:W210*L950mm,W175*L850mm

        3.极限真空度:优于2*10-4Pa

        4.抽气时间:大气压~8*10-4Pa小于30min

        5.蒸发源:电阻式蒸发电极,一组

        6.溅射源:孪生旋转阴极或孪生平面阴极,四组

        7.离子源:线性离子源辅助沉积系统,一套

        8.开启方式:正面铰链开门结构

        9.真空系统:机械泵+分子泵,机械泵+罗茨泵

        10.样品加热:铠装加热管预留


        CRT-M1600 Multi-function Coating System

        Specification:

        1. Chamber: Φ1600*H1100mm,Φ1200*H1000mm

        2. Maxmium sample dimension: 210*850mm,175*850mm

        3. Ultimate pressure: Less than 2*10-4Pa

        4. Pump Time: ATM.~8*10-4Pa less than 30min

        5. Evaporator: Resistance Heating Evaporation

        6. Sputtering: Twin Rotating Twin Plane Cathode

        7. Ion Source: linear Ion Source

        8. Door: Front door structure

        9. Pump: Mechanical pump + Turbo Molecular Pump 

        10. Heater: Stainless Steel Heating Tube


        技术特点:

        1.本设备主要用于沉积多层光学膜,如可见光分光膜、可见光滤光片、可见光抗反射膜、紫外截至滤光片、红外滤光片、激光抗反膜、激光反射膜和激光抗损膜等。

        2.本设备适合企业、科研单位和高校使用。

        3.该设备由真空室、真空机组、镀膜系统、工装系统和电气控制系统组成。

        4.采用分子泵+机械泵作为高真空和工艺抽气;采用罗茨泵+机械泵作为前级抽气。


        Technical Features:

        1. It is used to deposite mulfi-layer optical films, such as beam splitter, optical filter, antireflective film reflective film. 

        2. It is suitable for small enterprises, scientific research units universities. 

        3. The device consists of a vacuum chamber, vacuum unit, coating system, frock clamp electrical system.

        4. The Vacuum Chamber is Pumped by molecules rotary vane pump, roots pump mechanical pump.

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