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        双面镀膜机

        双面镀膜机

        • 所属分类:单体镀膜机
        • 浏览次数:
        • 发布日期:2020-09-14 10:11:43
        • 产品概述
        • 性能特点
        • 技术参数

        立式双面磁控溅射镀膜机

        产品名称:立式双面磁控溅射镀膜机

        产品型号:CRT-AC1200DoubleSideMagnetronSputteringCoater

        设备用途:在玻璃、陶瓷和金属基材上实现双面沉积陶瓷、光学膜和金属膜。

        武汉科瑞达真空科技有限有限公司设计的CRT-AC1200双面磁控溅射镀膜机为实现各种双面复合多功能膜层镀膜而设计,本机为立式单腔体,真空腔为箱式设计,在两个侧面上设计有通用的阴极安装法兰和维修门,可以按照实际工艺的需要安装各种模块,实现多种类型的沉积工艺和沉积膜层。本机可以灵活的采用多弧镀和溅射进行镀膜,广泛应用于在特种玻璃、陶瓷、塑料和纤维布上用多种镀膜方式进行复合膜层的镀膜沉积。


        设备设计:

        在箱式真空腔体的两个面上安装有标准安装法兰。可安装多弧阴极或者线性磁控溅射阴极,设有两个维修门,也可作为前处理安装法兰。采用铰链门结构,方便进出料。在真空腔体顶板上设有DN250mm的高真空抽气口,同时采用插板阀高真空隔离;在腔体的顶板上设有真空进气装置、真空检测装置和工艺气体进入装置;真空系统为分子泵和机械泵组成的两级真空抽气系统。


        技术特点:

        1、操作:全/半自动,操作方便;

        2、抽真空节拍;小于20min一架;

        3、沉积源:四套线性沉积源;

        4、溅射源:直流电源和中频电源;

        5、镀膜:双面金属、介质膜和光学膜;

        6、膜厚控制:较精 确制动的沉积圈数;

        7、真空:分子泵、罗茨泵和机械泵;

        8、离子源:线性离子源;

        9、加热:采用铠装加热管加热

        10、工件架:进片推车手动对位;

        11、工艺控制:工控电脑+PLC。

        12、说明:在玻璃、陶瓷和金属平板材料上实现双面沉积陶瓷和金属膜层。


        技术参数:

        1、安装:W1800*L1800*H3200mm;

        2、腔体:内空W1400*H1400*L480mm

        3、装载:Φ1200*D5mm,嵌入式装载盘;

        5、溅射:直流溅射/中频溅射/多弧阴极;

        6、真空范围:ATM-6*10-4Pa;

        7、离子源:线性离子源,4KW;

        8、沉积率:较精 确控制的圈数;

        9、进出片:手动对位托盘和小车;

        10、真空:截止阀控制流量计工艺气体;

        11、电源:三相四线制50HZ

        12、外接法兰:KF16和KF25

        13、真空获得:机械泵、罗茨泵和分子泵


        设备结构介绍:由真空室、真空机组、工装系统、工艺控制系统和电气控制系统组成。

        1、真空室

        箱式不锈钢腔体(外壁水冷系统),铰链开门;SUS304不锈钢材质,配LF250标准安装法兰(含防污挡板)、视窗、预抽接口、分子泵接口、高低真空计接口和充气接口;腔体侧壁内部全部设计有反射板等。

        2、真空机组

        采用分子泵FF250/2000+机械泵2X-70提供高真空抽气,和工艺维护抽气系统;由机械泵2X-70提供腔体前级抽气系统,获得快速工件换装抽气。分子泵和高阀设计安装在腔体顶部或底部,配有相应的插板阀和气动角阀,配有复合式数显真空测量仪。

        3、电气系统

        电气系统包括真空机组控制、工装系统、真空测量控制等部分组成。有安全互锁机构,有效防止误操作发生。

        4、工艺控制系统

        工艺控制系统配置有四套线性溅射阴极、两套线性离子源、四套10KW电源、八套工艺流量计(带截止阀)、溅射挡板装置和工装加热旋转自动控制系统;配置有多组冷却水盘管,有效带走沉积过程中产生的热量。

        5、工装系统

        Φ1200*D5mm(工装夹具可定做),采用航空铝镂空沉台设计,边缘装夹夹具位小于2mm,配合双面镀膜工装;可以实现双面同时镀膜工艺。

        6、多功能镀膜系统

        本机设计在玻璃、陶瓷和金属平板材料上实现双面沉积陶瓷和金属膜层。

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