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        卧式移动阴极镀膜机

        卧式移动阴极镀膜机

        • 所属分类:单体镀膜机
        • 浏览次数:
        • 发布日期:2020-04-29 11:26:53
        • 产品概述
        • 性能特点
        • 技术参数

        产品名称:卧式移动阴镀膜机

        产品型号:CRT-HM1050HorizontalMovingCathodeCoater

        设备用途:在钕铁硼、玻璃、特种金属和塑料块(柱或颗粒)表面上沉积镝Dy、铽Te和铝Al等金属和陶瓷膜。

        武汉科瑞达真空科技有限有限公司的CRT-HM1050卧式移动阴极镀膜机为实现在钕铁硼陶瓷表面上实现Dy、Te和Al等功能膜层的生产线前期中式镀膜而设计,是一种基于线性阴极磁控溅射镀膜技术的特种镀膜机,本机可以采用线性磁控溅射阴极,如单/孪生平面磁控溅射阴极、单/孪生旋转磁控溅射阴极;因此可以采用多种磁控溅射工艺,直流磁控溅射、直流偏压磁控溅射、中频磁控溅射和射频磁控溅射为特定的膜层材料进行调试生产。


        设备设计:

        卧式平板连续磁控溅射镀膜被广泛应用于各种薄膜的大批量生产中。例如在大面积磁电薄膜、大面积光电薄膜、大面积导电膜、大面积建筑薄膜和特种表面改性薄膜等。每种薄膜具有它本身特种的镀膜工艺,在实现大面积连续生产之前,必须对生产工艺进行详细的考察和试验,并进行中试生产试验,本设备因此而设计。并可扩展至沉积各种陶瓷、金属、玻璃和塑料的柱状、块状和颗粒状形态表面。


        技术特点:

        1、操作:全/半自动,操作方便;

        2、真空进片节拍;小于20min一架;

        3、阴极:一套线性溅射阴极;

        4、溅射电源:直流/中频;

        5、镀膜:Dy、Te和Al等功能膜层;

        6、膜厚控制:较精 确受控阴极移动次数;

        7、真空:分子泵+罗茨泵和机械泵;

        8、辅助源:偏压源;

        9、加热:采用铠装加热管加热

        10、工件架:全自动进出片;

        11、工艺控制:全自动面板显示输入。


        技术参数:

        1、安装:W3600*L2000*H2400mm;

        2、腔体:W1450*L1650*H650mm

        3、装载:W800*L900mm;

        4、阴极:线性溅射阴极;

        5、靶材:Te(铽)、Dy(镝)、Al、Ti、Cr、Ni、Cu、Si、C(石墨)、In、Ga、ITO、AZO和GZO等

        6、真空范围:ATM-6*10-4Pa;

        7、辅助源:偏压源;

        8、沉积率:较精 确受控的阴极移动次数;

        9、真空:截止阀控制流量计工艺气体;

        11、电源:三相四线制50HZ

        12、外接法兰:KF16和KF25

        13、真空获得:机械泵、罗茨泵和分子泵


        设备结构介绍:由真空室、真空机组、工装系统、工艺控制和电气控制系统组成。

        1、真空室

        卧式不锈钢腔体(外壁水冷系统),底部抽气,铰链气缸上下升降开门;配φ100观察窗(含防污挡板)、预抽接口、分子泵接口、高低真空计接口和充气接口;腔体侧壁内部全部设计有加热反射板、配有四组Φ10的冷却管被挡板保护等,针对沉积Te(铽)、Dy(镝)工艺,可以通入冷却水或者冷却媒体进行腔体内部降温。

        2、真空机组

        采用两分子泵FF250+机械泵RVP24/TRP90提供高真空抽气;分子泵与真空室采用插板阀隔离,获得快速工件换装抽气。分子泵和高阀设计安装在腔体顶部或底部,配有相应的插板阀和气动角阀,配有复合式数显真空测量仪。

        3、工装系统

        W1000*L1050mm(工装夹具可定做),整个W800*L900mm区域为工装沉积区,有效沉积高度为小于25mm,工装系统由电机通过磁流体导入动力带动工件架运动,同时通过光电检测任意控制运行速度和运行位置;阴极移动动力也通过磁流体导入,速度任意调整。

        4、溅射镀膜系统

        真空腔体为W1450*L1650*H650mm的不锈钢腔体,在腔体的底部布置设计有抽气系统,真空监控装置,加热接口,冷却接口,可以任意配置中频孪生溅射阴极、中频平面溅射阴极、直流磁控溅射阴极和线性离子源辅助沉积系统。可以完成各种膜层的溅射镀膜。

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