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        孪生旋转阴极机

        孪生旋转阴极机

        • 所属分类:定制真空镀膜机
        • 浏览次数:
        • 发布日期:2020-09-14 10:18:02
        • 产品概述
        • 性能特点
        • 技术参数

        孪生旋转阴极(内置&外置)

        产品名称:孪生旋转阴极(内置&外置)

        产品型号:CRT-CRT-DRMCathode

        专利:一种新型孪生外置旋转阴极,ZL201610039979.2

        专利:一种内置旋转阴极结构,20170512100.6

        设计说明:科瑞达真空发明的一种新型孪生外置旋转阴极和一种内置旋转阴极结构,首次将磁流体密封结构引入旋转阴极端头设计中,提高了旋转阴极端头动密封的稳定性和耐久性。


        一种新型内置旋转阴极:

        (1)采用了磁流体密封的端头结构设计,工艺稳定,可重复性好;

        (2)优化内置旋转阴极磁场优化了磁场的强度分布,提高了沉积膜厚的均匀性;

        (3)高靶材利用率,靶材利用率大于85%;

        (4)靶面自清洁作用;

        (5)阴极结构通用性好;

        (6)靶材广泛;

        (7)适用于直流磁控溅射和中频磁控溅射。


        专利说明:

        一种新型内置旋转阴极,包括由下端坐、碳刷、分水器、同步轮、磁流体、下轴承、下端盖、靶管、磁极盖、磁极N、磁极靴、极靴锁、磁极S、上端盖、绝缘套、进水管、水管套、绝缘座、靶电机、电机座、焊接层、固定座、固定销、上轴承、上端座和进出水组成。本发明是一种新型内置旋转阴极有以下特点,(1)阴极结构全内置在真空室;(2)阴极为线性阴极设计,长度可以根据工艺增加;(3)既可孪生组合使用,也可单阴极使用;(4)进出水设计合理,可任意角度安装;(5)具有高沉积速率、宽均匀性沉积区、高靶材利用率和高工艺稳定性。可以广泛应用于大面积批量生产的磁控溅射镀膜生产线和大面积光电镀膜机。


        专利说明:

        一种新型孪生外置旋转阴,包括共用靶套、孪生冷却水系统、共用工艺进气系统、孪生平衡磁极系统、共用旋转动力系统、孪生电力接入系统、孪生观察视窗和共用安全保护罩组成。本发明是采用线性孪生旋转阴极设计,具有高沉积速率、宽均匀性沉积区、高靶材利用率和高工艺稳定性的特点,同时可实现连续靶面自清洁任意角度安装的大面积新型孪生外置旋转阴极。可以广泛应用于大面积批量生产的磁控溅射镀膜生产线和大面积光电镀膜机。


        一种新型孪生外置旋转阴:

        (1)本发明专利采用平衡磁场设计,溅射等离子体可以长时间稳定工作,膜层工艺重复性好。

        (2)本发明专利为孪生线性阴极可以实现大面积沉积,其有效的沉积区域可以根据实际情况进行增大,适合的沉积区为300mm到1500mm。

        (3)本发明专利的磁场方向可调整,使得磁场更加聚集增强等离子密度有效提高沉积速率。

        (4)本发明专利采用旋转阴极设计,具有高靶材利用率,靶材利用率大于85%。

        (5)本发明专利的为旋转阴极,具有靶面自清洁作用。

        (6)本发明专利的两套靶相互绝缘,同时两套靶相对设备绝缘,两个靶材可以互为阳极,也可以与接地构成阳极,因此可以消除阳极消失现象。

        (7)本发明专利的靶材广泛。可以实现金属材料(金、银、铜、铁(不锈钢)、钛、钼、铝、锡、钽和铌等)、半导体材料(氧化铟锡、氮化镓和硅等)和导电陶瓷材料(氧化锌、氧化铌、氧化钽和氧化钛等)。

        (8)电源通用性。市场上大部分电源(中频交流电源、单/双路直流电源、直流脉冲电源和直流偏压电源等)都可以进行溅射。

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